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你的晶圓/玻璃基板真的干凈嗎?L3SQ給你一個確切的答案

發(fā)布時間:2025-12-25 點擊量:175

在精密制造的世界里,一個肉眼幾乎無法察覺的微塵,可能就是導致整批產(chǎn)品性能降級甚至報廢的元兇。尤其是在晶圓、玻璃基板、光學鏡片等平坦如鏡、價值高昂的基材上,傳統(tǒng)的檢測方式往往在“似乎干凈"和“確實干凈"之間留下了一片令人不安的模糊地帶。

當你在強光下側(cè)目而視,或依賴普通顯微鏡進行抽檢時,是否曾對那“應該沒問題" 的判斷心存一絲疑慮?微米級的顆粒污染物,正在這片模糊地帶中悄然潛伏,威脅著產(chǎn)品的良率與可靠性。

今天,這種不確定性可以被終結。日本CSC公司的Dust Finder L3SQ條形LED暗場照明檢查燈,正是為給出一個確切的、可視化的答案而誕生。

為何傳統(tǒng)方法給不了你“確切答案"?

對于完1美的平坦光滑表面,傳統(tǒng)的正面直射光(明場照明)會使大部分光線直接反射入人眼或鏡頭,表面本身看起來非常明亮,但恰恰是這種明亮“淹沒"了微小顆粒的成像對比度。而依賴人員經(jīng)驗的側(cè)光觀察,則存在光照不均、標準不一、易視覺疲勞等問題,難以實現(xiàn)穩(wěn)定、可靠的判定。

L3SQ的工作原理:讓不可見變?yōu)榭梢?/span>

L3SQ的核心在于運用了經(jīng)典的暗場照明原理。它通過特制的條形光源,以極低的角度將高亮LED光投射到待檢表面。

  • 對于完1美平整的區(qū)域:光線會發(fā)生鏡面反射,幾乎不會進入上方的觀察者眼中,因此背景呈現(xiàn)均勻的暗場。

  • 一旦遇到微粒、劃痕或凹陷:光線會發(fā)生散射。這些散射光如同黑夜中的燈塔,清晰且明亮地進入人眼,使得污染物在暗色背景上呈現(xiàn)出鮮明、銳利的亮點或線紋。

這種技術路徑的轉(zhuǎn)變,從根本上改變了檢測的邏輯:它不再依賴于觀察背景反射光的強弱,而是直接捕捉污染物本身的散射信號,從而將檢測的靈敏度與可靠性提升到一個新的維度。

不僅僅是“看見",更是“清晰界定"

L3SQ提供的不僅僅是一個光源,更是一個標準化的檢測環(huán)境,它消除了人為和環(huán)境變量,讓潔凈度得以被客觀評估:

  1. 超高靈敏度:在理想條件下,能夠幫助操作人員穩(wěn)定檢測到最小直徑約10微米(μm) 的顆粒物。這相當于人類紅細胞大小的級別,為早期污染預警提供了可能。

  2. 卓1越的對比度:可選配的專用綠色濾光片能進一步優(yōu)化人眼視覺感受,提升信噪比,讓目標信號更為突出,大幅降低誤判和漏判率。

  3. 減輕視覺疲勞:均勻的暗場背景避免了強光直接刺激,檢查人員可以長時間工作而不易疲勞,保障了檢測質(zhì)量的持續(xù)穩(wěn)定。

  4. 為固定工位而生:輕巧的燈體與專用支架設計,使其能完1美集成于關鍵工藝點(如貼合前、鍍膜前、包裝前)的檢測工位,實現(xiàn)流程化、即時性的快速篩查。

賦予關鍵行業(yè)確切的品質(zhì)掌控力

  • 半導體制造:在晶圓分選、封裝前,快速進行表面顆粒的非接觸式目檢抽查,及時剔除受污染單元,避免價值損失向下游傳遞。

  • 平板顯示與觸摸屏:在玻璃基板投入光刻、CFOG/FOG等精細工藝之前,確保其表面無塵、無纖維附著,是減少Mura缺陷、提升良率的基石。

  • 精密光學元件:對于相機模組鏡片、激光器窗口等元件,L3SQ能在組裝前揭示附著物,保障最終成像質(zhì)量與光學性能。

  • 高光表面加工:在高檔金屬面板、玻璃蓋板出廠終檢中,它是發(fā)現(xiàn)細微劃痕、指印和顆粒的利器,守護產(chǎn)品的外觀完1美度。

結論:從“可能"到“確定"

在質(zhì)量就是生命的精密制造領域,“可能干凈"的代價我們無法承受。CSC Dust Finder L3SQ通過科學的暗場照明原理,將表面潔凈度的判定從一種依賴經(jīng)驗的“估測",轉(zhuǎn)化為一種基于可視化證據(jù)的“確定"。

它給出的,不是又一個模糊的選項,而是一個清晰的答案。當您再次面對“晶圓/玻璃基板真的干凈嗎?"這一核心質(zhì)控問題時,讓L3SQ成為您值得信賴的最終裁決者。


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