在顯示面板的生產(chǎn)線上，一塊即將完工的屏幕被送入檢測區(qū)。當(dāng)特定波長的紫外光均勻照射其上，肉眼難以察覺的微觀缺陷、膜層均勻性或液晶取向狀態(tài)，會通過精密的光學(xué)響應(yīng)顯現(xiàn)出來。

同樣，在半導(dǎo)體晶圓的復(fù)雜電路中，深紫外光成為“鷹眼"，幫助識別出微米甚至納米級別的圖案缺陷、測量關(guān)鍵尺寸。這一切對光源的波長精準(zhǔn)性、強(qiáng)度穩(wěn)定性和光譜純度提出了要求。

01 檢測痛點(diǎn)，精度與效率的雙重挑戰(zhàn)

現(xiàn)代顯示與半導(dǎo)體制造正邁向更精密、更高效的階段，這使檢測環(huán)節(jié)面臨嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。宏觀上行業(yè)的技術(shù)迭代與微觀上工藝精度的演進(jìn)，共同將光源的性能推向了關(guān)鍵位置。

在顯示領(lǐng)域，隨著OLED、Mini/Micro LED及超高分辨率屏幕的普及，檢測對象從過去的單純像素點(diǎn)，擴(kuò)展到更為復(fù)雜的發(fā)光材料、精細(xì)膜層和微觀結(jié)構(gòu)。

缺陷尺寸從微米級向亞微米級發(fā)展，傳統(tǒng)的寬譜或非特定波長光源已難以提供足夠的對比度和信噪比，偽影干擾、缺陷漏檢風(fēng)險顯著增加。

半導(dǎo)體行業(yè)則沿著摩爾定律繼續(xù)前行。當(dāng)工藝節(jié)點(diǎn)進(jìn)入7納米、5納米甚至更小時，光刻后檢測、關(guān)鍵尺寸測量和缺陷復(fù)查對光的波長提出了近乎苛刻的要求。尤其是248nm深紫外光，已成為多項(xiàng)核心檢測工藝的“標(biāo)尺"。

低強(qiáng)度或不穩(wěn)定的光源會直接導(dǎo)致測量數(shù)據(jù)波動，使工藝窗口判斷失準(zhǔn)，造成巨大的時間和物料損失。

02 精準(zhǔn)出擊，REX-250的核心檢測優(yōu)勢

面對上述挑戰(zhàn)，朝日分光REX-250水銀光源的設(shè)計(jì)理念，便是成為高置信度檢測的“基石"。其核心優(yōu)勢并非簡單的“高亮度"，而是系統(tǒng)性構(gòu)建的可控光環(huán)境。

核心波長優(yōu)勢顯著：該光源特別強(qiáng)化了 248nm波段的輸出強(qiáng)度。在半導(dǎo)體檢測中，此波長與許多光刻工藝及材料的光學(xué)特性高度匹配，是進(jìn)行圖案輪廓測量和缺陷識別的黃金波段。

同時，它也提供313nm、334nm、365nm、405nm、436nm等汞燈特征譜線，完整覆蓋了從深紫外到可見光藍(lán)紫端的常見檢測需求。

波長選擇精準(zhǔn)高效：其核心在于可搭載多達(dá)8個獨(dú)立濾光片的快速切換系統(tǒng)。檢測工程師可以像轉(zhuǎn)換鏡頭一樣，在預(yù)設(shè)的多個特征波長間瞬時切換。

例如，檢測顯示屏不同功能層時，可一鍵切換至適合激發(fā)其特定熒光或反射特性的波長，實(shí)現(xiàn)“一層一光"，大幅提升缺陷辨識的針對性和效率。

光強(qiáng)與曝光控制精密：設(shè)備支持100%至5%的連續(xù)光強(qiáng)調(diào)節(jié)和高達(dá)99999.9秒的精確定時曝光。這意味著無論是需要對微弱信號進(jìn)行長時間累積曝光的精密測量。

還是生產(chǎn)線上的高速瞬態(tài)檢測，REX-250都能提供穩(wěn)定、可重復(fù)的照明條件，確保每一次檢測都在同一“光標(biāo)準(zhǔn)"下進(jìn)行，數(shù)據(jù)可比性強(qiáng)。

03 場景賦能，從實(shí)驗(yàn)室到生產(chǎn)線

在具體的應(yīng)用場景中，這些技術(shù)優(yōu)勢轉(zhuǎn)化為實(shí)實(shí)在在的檢測效能提升。

在顯示面板檢測中，REX-250的精準(zhǔn)波長可用于評估OLED有機(jī)發(fā)光材料的純度與均勻性，檢測微型LED芯片的焊接缺陷，或量化液晶盒的取向排列質(zhì)量。

其穩(wěn)定的光輸出確保了批次間檢測結(jié)果的一致性，為工藝改進(jìn)提供了可靠數(shù)據(jù)。

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，除了前述的光刻檢測，它還可用于光掩模版的缺陷復(fù)查、硅片表面污染物的熒光檢測，以及各類薄膜厚度的光譜反射測量。

特別是其RS-232C外部控制接口，使其能夠無縫集成到自動化檢測設(shè)備或智能產(chǎn)線中，實(shí)現(xiàn)光源開關(guān)、波長切換、光強(qiáng)調(diào)節(jié)的全程程序化控制，滿足工業(yè)4.0時代的柔性生產(chǎn)和數(shù)據(jù)追溯需求。

對于研發(fā)與品控實(shí)驗(yàn)室，REX-250更像是一個“基礎(chǔ)光學(xué)平臺"。其穩(wěn)定性為建立企業(yè)內(nèi)部的光學(xué)檢測標(biāo)準(zhǔn)方法提供了可能，無論是新材料的光學(xué)特性表征。

還是對標(biāo)國際檢測規(guī)范，它都能提供值得信賴的光源保障。

04 專業(yè)可靠，工業(yè)級產(chǎn)品的堅(jiān)實(shí)保障

REX-250作為一款工業(yè)與科研級設(shè)備，其設(shè)計(jì)充分考慮了連續(xù)、穩(wěn)定運(yùn)行的嚴(yán)苛要求。

它采用超高壓汞燈，雖然燈泡壽命約為1000小時（至初始照度的70%），但其采用了特殊的“免對準(zhǔn)墨盒式"更換設(shè)計(jì)。維護(hù)人員無需復(fù)雜的光路調(diào)整，即可快速完成燈泡更換，大程度減少設(shè)備停機(jī)時間。

從成本效益看，相對于激光光源等替代方案，REX-250在提供關(guān)鍵波長高強(qiáng)度輸出的同時，保持了合理的購置與維護(hù)成本，是一種經(jīng)受了市場驗(yàn)證的高性價比工業(yè)解決方案。

它實(shí)現(xiàn)了高1端性能與實(shí)用可靠性的平衡，是注重長期穩(wěn)定生產(chǎn)和數(shù)據(jù)可靠性的企業(yè)的理性選擇。