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日本NCC用于內(nèi)置設(shè)備的異物檢查燈LED Ages 它是一種可視化燈，可以照射更多的直射光，因?yàn)樗褂昧藫?jù)說具有較高相對(duì)視覺靈敏度的綠光LED（峰值波長(zhǎng)約為525 nm）和具有30度方向特性的槍式彈性LED。由于照射范圍廣，因此在膜接合工序，半成品的表面檢查等中，可以觀察到大約10μm的異物。